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          杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司

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          通用磁控濺射鍍膜機GMS-1000

          • 所屬分類:磁控濺射鍍膜機

          • 點擊次數:
          • 發布日期:2020/04/21
          • 在線詢價
          詳細介紹


          型號:GMS-1000


          特點:

          1、支持向上或向下的鍍膜方式;

          2、先進的濺射靶材結構設計,實現膜厚分部的穩定可靠;

          3、高速旋轉的傘具與實際鍍膜工件的監控位置,實現了所見即所得;

          4、多通道透射式監控,配合可調節膜厚修正板,實現了膜厚分布的反饋控制;

          5、支持任意膜厚的控制;

          6、通用的控制平臺,友好的人機界面,使客戶可以自行設置鍍膜機的所有控制參數;

          7、開放式接口,方便安裝第三方的光學膜厚儀;

          8、氣流和氣壓同時實時控制,適用出氣量大的低溫鍍膜。


          工藝參數:

          1、真空系統

               a) 極限真空度:4.0×10-5Pa 

               b) 抽至10Pa所用時間:≦ 10 分鐘

               c) 漏率: 3.0×10-5Pa m3/sec

          2、控制精度

               a) 靶材尺寸:8寸直徑

               b) 工件旋速: 20-120RPM

               c) 工件尺寸:直徑900mm

               d) 離子源:等離子體離子源

               e) 加熱溫度:上下雙加熱控制,最高溫度350度

               f)高真空泵:DN400油擴散泵或電子泵

               g)低真空泵組:機械泵+羅茨泵機組

               h)冷阱:雙組Polycold

          3、光學監控系統OMS

               a) 波長精度:0.2nm

               b) 光強波動: 白光< 0.1%,激光< 0.02%

               c) 波長范圍: 400nm-1650nm



                杰萊特擁有領先的真空鍍膜技術,已申請多項zhuanli。生產多種高質量鍍膜設備,同時承攬鍍膜設備的維修和改造以及鍍膜工藝咨詢服務等業務。

                公司生產的各型鍍膜機,是針對特定市場和客戶群體開發的新產品,與目前市場上普遍采用的鍍膜設備相比具備以下突出優勢:單體同步精密監控,實時膜厚分布控制。因此適合做各類高難度鍍膜產品。單片薄膜產品的面積越大,優勢越明顯。而電子束鍍膜機還增加了雙面鍍膜功能,適合半導體激光器的端面鍍膜。

                杰萊特秉承質量第一,信譽至上的理念專注鍍膜行業數十年,我公司將利用自身技術優勢,根據客戶需求,生產各種類型的高端精密鍍膜設備,打破目前在高端鍍膜機市場全部由國外企業壟斷的局面,歡迎各界人士來電咨詢!


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