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          杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司

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          濺射鍍膜機

          • 所屬分類:離子濺射鍍膜機

          • 點擊次數:
          • 發布日期:2020/04/21
          • 在線詢價
          詳細介紹

          型號:IBSV-1030    

          特點:

          a)基板垂直放置,水平監控;

          b)轉靶左右可調,保證靶面中心和離子源最佳距離;

          c)基板:12吋×1 ;

          d)靶材:兩靶或三靶可更換;

          e)多光路監控。

          f)工件夾具:12吋

          工藝參數:

          1)真空系統

          a)極限真空度:4.0×10-5Pa 

          b)抽至10Pa所用時間 10 Pa:≦ 10 分鐘

          c)漏率:3.0×10-5Pa m3/sec

          2)控制精度

          a)靶材旋轉:0.005°

          b)工件旋轉: <1000RPM

          c)編碼器Encode: 12000lines;480000Counts/rev

          d)膜厚修正板:0.005°

          e)擋板:  position switch

          3)光學監控系統OMS

          a) 波長范圍:380nm~1650nm

          b) 光源穩定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02%

          c) 波長分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm

          d) 波長準確度: 白光0.2nm ,激光0.1nm




          杰萊特擁有領先的真空鍍膜技術,已申請多項zhuanli。產品類型包括離子濺射鍍膜機、電子槍蒸發鍍膜機、高精度光學監控系統等,同時承攬鍍膜機設備的維修和改造以及鍍膜工藝咨詢服務等業務。

          公司生產的離子濺射和電子槍鍍膜機,是針對特定市場和客戶群體開發的新產品,與目前市場上普遍采用的鍍膜機相比具備以下突出優勢:單體同步精密監控,實時膜厚分布控制。因此適合做各類高難度鍍膜產品。單片薄膜產品的面積越大,優勢越明顯。而電子槍蒸發鍍膜機還增加了雙面鍍膜功能,適合半導體激光器的端面鍍膜。

          我公司將利用自身技術優勢,根據客戶需求,生產各種類型的高端精密鍍膜設備,打破目前在高端鍍膜機市場全部由國外企業壟斷的局面,歡迎各界人士來電咨詢!


          相關標簽:離子濺射鍍膜機,濺射鍍膜機價格,濺射鍍膜機批發

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